產(chǎn)品中心
采用精密加工的氣浮部件搭配均勻氣膜設計，確保運動時垂直和水平方向的直線度誤差小于0.2微米/100毫米；
elmo高性能驅動器結合海德漢高精度反饋系統(tǒng)，實現(xiàn)重復定位精度優(yōu)于0.035微米；
優(yōu)秀的氣浮結構設計，提供高承載能力，可支持超過100公斤負載，同時保持高剛性；
多耦合場仿真確定極優(yōu)的氣場參數(shù)設計，確保在氣壓大于0.65MPa時，仍可運行平穩(wěn)且長期可靠。
| 技術參數(shù) |
| 序號 | 項目 | 標準值 |
|---|
| 1 | 極高的垂直/水平直線度 | ＜0.2um/100mm |
| 2 | 極高的重復定位精度 | ＜0.035um |
| 3 | 高承載特性 | ＞100kg/＞70N/um |
| 4 | 極好的穩(wěn)定性 | 氣壓＞0.65MPa |
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